往复式真空泵失效和操作不稳定的常见原因是油污染。如果水或酸性蒸气流经该泵二并让油维持工作一段时间。则会发生对泵的严重腐蚀和损坏。确定需要换油的简单方法是，在往复式真空泵上连接一个真空表，查明能否达到额定真空。
如果闻到存在溶剂的气味，通常提示需要换油。轻棕色、阴暗的油也说明有水存在。一旦产生疑虑，应即换油。在小型泵中，油呈黑色不一定表明油已污染。叶片磨合越长久。则运动部件的内座磨合越好，由这种磨合而带入油中的碳也越多，它可使油的颜色变黑但不会降低其蒸气压，甚至还会增加其润滑性。如果往复式真空泵仅是偶而使用或借给其他操作人员使用，则在泵暂时闲置之前，把油排净并充以新油。许多用户发现:在泵上贴一标签，在上面记录换油日期，对他们是很方便的。
多数情况下，排净泵油十分简单。只要让往复式真空泵运转。使油变热并使油膜尽变薄。然后，打开泵入口敞于大气，关掉动力并且打开排放阀。必要时，可从与阀门相对的一端将泵掀斜以保证完全排净。当停止流油时，转动机器数秒钟或用手转动皮带轮，以排净仍留在定子缝隙中的油。如果泵在排油时运转操作一会儿，则在运动部件上会存在足够的油膜以防止损坏。
记住:当加人新油时，留在往复式真空泵中的任何脏油都会污染新油。大多数厂商不建议使用洗净过的油。
